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目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和较低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。其电原理如图1所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图2。MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力较大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，三明金旅客车配件，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01-0.03%FS。电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力作用向下位移，杭州金旅客车配件，改变了上下二根横隔栅的间距，也就改变了板间电容量的大小，厦门金旅客车配件，即△压力=△电容量。

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第一类水温传感器的作用较为简单就是通过它的内部阻值变化来达到通过传感器的电阻变化来改变通过的电流变化来驱动水温表的变化，间接的告诉人们发动机的工作温度。第二类，水温传感器从结构上讲没有什么变化，但它的作用是向发动机控制单元提供一个温度变化的模拟量信号。它的供电电压是由控制单元提供的5V电源，返回控制单元的信号为1.3V-3.8V的线性变化信号。主要作用是告诉发动机控制单元现在的温度有多少。反过来讲它的信号对于控制单元及其重要。主要是发动机在不同的工作温度下有不同的工作方法。例如：在86度以下发动机要比正常温度多喷10%的油料，目的是为了让发动机**升温以减少发动机的低温磨损。而温度升到86度以上后又要让发动机少喷点儿油，要让温度再生的慢点儿。所以它的作用是很重要的。如果他要是有了问题，向发动机控制单元提供了错误的信号，例如在热车时提供了发动机低温信号你的车是否就的多喷点儿油，所以就显得有点废油啦。